בקרת טמפרטורה ולחות אוטומטית

הטמפרטורה והלחות של החדר הנקי נקבעים בעיקר על פי דרישות התהליך, אך בתנאי עמידה בדרישות התהליך, יש לקחת בחשבון את נוחות האדם.עם העלייה בדרישות ניקיון האוויר, ישנה מגמה שלתהליך יש יותר ויותר דרישות מחמירות לגבי טמפרטורה ולחות.

ככל שדיוק העיבוד הולך ונעשה עדין יותר ויותר, הדרישות לטווח תנודות הטמפרטורה הולכות וקטנות יותר.לדוגמא, בתהליך החשיפה לליתוגרפיה של ייצור מעגלים משולבים בקנה מידה גדול, ההבדל בין מקדם ההתפשטות התרמית של זכוכית ופריסת סיליקון כחומר של הסרעפת נדרש להיות קטן יותר ויותר.רקיקת סיליקון בקוטר 100 מיקרומטר תגרום להתפשטות ליניארית של 0.24 מיקרומטר כאשר הטמפרטורה תעלה במעלה 1.לכן חייבת להיות לו טמפרטורה קבועה של ±0.1 מעלות.יחד עם זאת, ערך הלחות בדרך כלל נדרש להיות נמוך, מכיוון שאחרי שאדם יזיע, המוצר יהיה מזוהם, במיוחד עבור סדנאות מוליכים למחצה החוששים מנתרן, סוג זה של סדנאות נקיות לא יעלה על 25 מעלות.

לחות מופרזת גורמת ליותר בעיות.כאשר הלחות היחסית עולה על 55%, יתרחש עיבוי על דופן צינור מי הקירור.אם זה מתרחש במכשיר או במעגל מדויק, זה יגרום לתאונות שונות.קל להחליד כאשר הלחות היחסית היא 50%.בנוסף, כאשר הלחות גבוהה מדי, האבק על פני פרוסת הסיליקון ייספג כימית על ידי מולקולות המים באוויר אל פני השטח, שקשה להסירו.ככל שהלחות היחסית גבוהה יותר, כך קשה יותר להסיר את ההידבקות, אך כאשר הלחות היחסית נמוכה מ-30%, החלקיקים נספגים בקלות על פני השטח גם בגלל פעולת הכוח האלקטרוסטטי, ומספר רב של מוליכים למחצה. מכשירים מועדים להתקלקל.טווח הטמפרטורות הטוב ביותר לייצור פרוסות סיליקון הוא 35 ~ 45%.