1. יש לבדוק את ניקיון האוויר של החדר הנקי באופן הבא
(1) מצב ריק, בדיקה סטטית
בדיקת מצב ריק: החדר הנקי הסתיים, מערכת המיזוג המטוהרת פועלת כרגיל, והבדיקה מתבצעת ללא ציוד תהליך ואנשי ייצור בחדר.
בדיקה סטטית: מערכת מיזוג האוויר לטיהור החדר הנקי פועלת כרגיל, ציוד התהליך הותקן והבדיקה מתבצעת ללא אנשי ייצור בחדר.
(שני) מבחן דינמי
החדר הנקי נבדק בתנאי ייצור רגילים.
איתור נפח האוויר, מהירות הרוח, לחץ חיובי, טמפרטורה, לחות ורעש בחדר הנקי יכול להתבצע בהתאם לתקנות הרלוונטיות לשימוש כללי ומיזוג אוויר.
טבלת רמת ניקיון האוויר בחדר נקי (אזור).
רמת ניקיון | המספר המרבי המותר של חלקיקי אבק/מ"ר≥0.5μmמספר חלקיקי אבק | ≥5μmמספר של חלקיקי אבק | המספר המרבי המותר של מיקרואורגניזמים חיידקים פלנקטוניים/מ"ק | שיקוע חיידקים/מנה |
100מעמד | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000מעמד | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000מעמד | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000מעמד | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |