תכולת חדר נקי (מפעל) ומתקנים קשורים

הבנייה והשימוש שלחדר נקיצריך להפחית את ההחדרה הפנימית, ההופעה והשמירה של חלקיקים, כלומר אין או פחות החדרה של חלקיקים, אין או פחות הופעת חלקיקים, אין או פחות שמירה של חלקיקים וכו'.

על פי הדרישות של ייצור המוצר, הפרמטריםכמוטֶמפֶּרָטוּרָה, לחותy ו לַחַץ צריך להיות בשליטה.בהתאם לדרישות ייצור המוצר, יש לשלוט גם בחלוקת האוויר, מהירות האוויר, הרעש, הרטט, החשמל הסטטי וכו' בחדר הנקי.לכן, ניתן לחלק באופן גס חדר נקי (מפעל) ומתקנים קשורים לשמונה קטגוריות:

(1) ציוד לטיהור אוויר (ציוד קירור,יחידת מיזוג אוויר, מסנן,מקלחת אוויר, שולחן נקי);

(2) מערכת חדרים נקיים (קרקע, אדמה/רצפה, תקרה /FFU, ציפוי מתכת, דלת,חלון העברה/חלון תצפית, מנורות);

(3) מערכת אספקת מדיום תהליך (כולל ציוד) (מים טהורים, גז טהור, גז מיוחד, כימיקלים);

(4) בקרת מיקרו-רעידות והגנה אלקטרוסטטית;

(5) מערכת לבוש נקייה, ציוד לחדר נקי (שולחן, כיסא, ארון, מתלה, שואב אבק), חומרים מתכלים לחדר נקי;

(6) מכשירי בדיקה;

(7) מתקנים להגנת הסביבה (מערכת לטיפול בגזי פסולת, מערכת לטיפול בשפכים);

(8)Dמכשיר ייעודי (מכשיר בידוד ביולוגי, מיקרו-סביבה)

לדרישות הבקרה של סביבת הייצור בייצור מוצרים אלקטרוניים יש לא רק דרישות מחמירות על ניקיון האוויר בחדר, אלא גם דרישות מחמירות על תכולת טוהר הטוהר של כל מיני סוגי מדיה בטוהר גבוה במגע ישיר עם תהליך ייצור של מוצרים אלקטרוניים - מים בטוהר גבוה, גז בטוהר גבוה, כימיקלים בטוהר גבוה וכו'. לחלק מהמוצרים האלקטרוניים יש גם דרישות מחמירות יותר לרטט, חשמל סטטי, הפרעות אלקטרומגנטיות, אספקת חשמל וכו'.